Depozit
Düşünişmek we ösüş prosesini çaltlaşdyrmak.
Advanced Energy, inçe film düşüriş programmalary we enjam geometriýalary üçin elektrik üpjünçiligi we dolandyryş çözgütleri bilen üpjün edýär.Wafli gaýtadan işlemek meselelerini çözmek üçin, takyk güýji öwürmek çözgütlerimiz, güýç takyklygyny, takyklygy, tizligi we gaýtadan işlemegiň mümkinçiligini optimizirlemäge mümkinçilik berýär.
RF ýygylyklarynyň, DC elektrik ulgamlarynyň, ýöriteleşdirilen energiýa çykaryş derejeleriniň, gabat gelýän tehnologiýalaryň we süýüm optiki temperatura gözegçilik çözgütleriniň giň toplumyny hödürleýäris, bu proses plazmasyna has gowy gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär.Şeýle hem, prosesi düşünmek we ösüş prosesini çaltlaşdyrmak üçin “Fast DAQ ™” we maglumatlary toplamak we elýeterlilik toplumymyzy birleşdirýäris.
Islegleriňize laýyk çözgüt tapmak üçin ýarymgeçiriji önümçilik amallarymyz hakda has giňişleýin öwreniň.
Siziň kynçylyklaryňyz
Integrirlenen zynjyr ölçeglerini nagyşlamak üçin ulanylýan filmlerden başlap, geçiriji we izolýasiýa filmlerine (elektrik gurluşlary), metal filmlere (özara baglanyşyk) çenli, çökdürmek amallaryňyz atom derejesindäki gözegçiligi talap edýär - diňe bir aýratynlyk üçin däl, eýsem tutuş wafli boýunça.
Gurluşyň özünden başga, goýlan filmleriňiz ýokary hilli bolmaly.Islenýän däne gurluşyna, birmeňzeşligine we laýyk galyňlygyna eýe bolmaly we boş bolmaly - bu zerur mehaniki stresleri (gysyjy we dartyş) we elektrik aýratynlyklaryny üpjün etmekden başga-da.
Çylşyrymlylyk diňe artmagyny dowam etdirýär.Daşbasma çäklendirmelerini (sub-1X nm düwünleri) çözmek üçin, öz-özi düzülen goşa we dörtburç patter usullary, her bir wafldäki nagşy öndürmek we köpeltmek üçin depozit amalyňyzy talap edýär.
Biziň çözgütimiz
Iň möhüm çöketlik programmalaryny we enjam geometriýalaryny ýerleşdireniňizde, ygtybarly bazar ýolbaşçysy gerek.
Advanced Energy-iň RF energiýa gowşuryşy we ýokary tizlikli gabat gelýän tehnologiýa, ähli ösen PECVD we PEALD depozit amallary üçin zerur bolan güýç takyklygyny, takyklygyny, tizligini we gaýtalanmagyny sazlamaga we optimizirlemäge mümkinçilik berýär.
Düzülip bilinýän ýaýyň jogabyny, güýjüň takyklygyny, tizligini we PVD (tüýkürmek) we ECD depozit amallaryny takyk düzmek üçin DC generator tehnologiýamyzy ulanyň.
Peýdalary
Pla Güýçlendirilen plazma durnuklylygy we prosesiň gaýtalanmagy hasyllylygy ýokarlandyrýar
Full Doly sanly gözegçilik bilen takyk RF we DC gowşurylyşy prosesiň netijeliligini ýokarlandyrmaga kömek edýär
Pla Plazma üýtgemelerine we arkany dolandyrmaga çalt jogap
Ad Uýgunlaşdyrylan ýygylygy sazlamak bilen köp derejeli impuls, etiň tizligini ýokarlandyrýar
Maximum Iň ýokary iş wagtyny we önüm öndürijiligini üpjün etmek üçin elýeterli global goldaw