RLS seriýaly RF elektrik üpjünçiligine uýgunlaşdyrylyp bilner we plazma örtügi, örtük, plazmany arassalamak, plazmany zaýalamak we beýleki amallarda giňden ulanylýar.Aloneeke ulanylanda, beýleki öndürijileriň RF elektrik üpjünçiligi bilen bilelikde ulanylyp bilner.